精度 : ±2.5% (中間1/3的量程) ±4% (量程範圍)重覆性 : ±1%流量範圍 : 57-28300 SLPM最大工作壓力 : 鋁,銅 : 40 bar 不銹鋼 : 70 bar最高工作溫度 : 116°C標準調校介質 : @21°C, 1.0sg/6.8bar
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